涡轮分子泵抽气系统的基本操作方法
发布时间：2018-06-06 点击： 次 编辑：dede58.com
涡轮分子泵抽气系统的基本操作方法：
一个装有单独粗抽管路的涡轮分子泵抽气系统的操作方法与扩散泵抽气系统相似。在开始粗抽以前，高真空阀和粗抽阀是关着的，而前级管道阀是打开的。
1、首先关闭前级阀，启动粗抽泵(兼前级泵)，打开粗抽阀开始对真空室进行抽气。在真空室内的压力降到150~100Pa时关闭粗抽阀，打开前级管道阀；
2、再启动涡轮分子泵。如果分子泵入口处装有液氮冷阱，则应在泵加速到额定转速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系统的配置随真空室的容积的大小而有所不同。对500L/s或更小的涡轮分子泵来说，可采用一台双级旋片泵；1000L/s以上的涡轮分子泵则采用以机械泵为前级泵的组。
3、系统停机时，先关闭高真空阀，如果有液氮冷阱的话，还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后，关掉前级管道阀，再切断涡轮分子泵电动机的电源使分子泵的转子减速。一般来说，到泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。
4、操作时：先打开冷却水和前级管道阀，并同时启动机械泵和涡轮分子泵。如粗抽泵选择得当使真空室的粗抽时间等于加速时间，那么真空系统就能在没有泵油蒸气返流的情况下把真空室抽到其本底压力。
5、无阀门系统在放气和停机：
1）首先关闭前级管道阀，等泵转速下降到转速的50%时再在泵的上方充入干燥气体。当系统充到大气压时应关闭放气阀门，否则会造成真空室过压。
2）然后按上述介绍的方法关掉机械泵并停掉冷却水。没有单设粗抽管路的涡轮分子泵系统的操作：先打开分子泵冷却系统和前级管路阀，并同时启动前级(粗抽)机械泵和涡轮分子泵。